В лаборатории разрабатываются оригинальные методы изготовления наноразмерных устройств для твердотельной квантовой электроники, оптики и нанофотоники. Перечень изготавливаемых устройств включает в себя одноэлектронные наноструктуры на основе примесных атомов в твердотельной матрице для квантовых вычислительных систем, сверхчувствительные сенсорные устройства на основе полевых и одноэлектронных транзисторов и наноэлектромеханических систем.