Способ изготовления делителя в интегральной оптической схеме

Группа изобретений относится к интегральной оптике, а именно к способам изготовления сбалансированного делителя в схемах на основе волноводов, сформированных в объеме твердотельной заготовки импульсным лазерным излучением. Способ изготовления делителя в интегральной оптической схеме заключается в формировании в диэлектрической заготовке участка взаимодействия сближенных волноводов. Для этого используют заготовку из кварца и формируют в ее объеме волноводы линейным размером поперечного сечения d=1÷6 мкм путем фокусировки импульсного лазерного излучения с частотой ƒ=2÷4 МГц и средней мощностью одиночного импульса р=50÷500 кВт при перемещении заготовки относительно фокуса излучения со скоростью V=0.4÷0.8 мм/сек. На участке взаимодействия волноводы сближают на расстояние g=1÷2 мкм. Технический результат – расширение арсенала технических средств для создания широкодиапазонных интегральных оптических делителей.